Kvarc ostya tisztító csónak
A kvarc ostyatisztító csónak egy olyan eszköz, amelyet ostyatisztításra használnak a félvezető gyártási folyamatban.
Anyaga: 99,99% kvarc
Leírás
Jellemzők
- Magas hőmérsékleti ellenállás
- Korrózióállóság
- Kopásállóság
- Könnyen tisztítható
Használata: távolítsa el a felületi szennyeződéseket
Biztosítsa a félvezető chipek gyártási minőségét.
Alkalmazás
1. Elő-diffúziós tisztítás
Az ostyák nedves asztali vagy merítési tisztítási lépéseken (pl. RCA-tisztítás) történő szállítására használják, hogy eltávolítsák a szerves, fémes és szemcsés szennyeződéseket a magas hőmérsékletű diffúziós vagy oxidációs folyamatok előtt.
2. -CMP (Chemical Mechanical Planarization) utáni tisztítás
Megtartja az ostyákat a polírozás utáni-tisztítások során, hogy kiküszöbölje az iszapmaradványokat és a felületi hibákat, optimális síkságot biztosítva a következő litográfiai lépésekhez.
3. Elő-vége-a-sor (FEOL) gyártása
A kritikus FEOL tisztítási szakaszokban alkalmazzák, ahol ultra-tiszta felületekre van szükség az oxidok növekedéséhez, epitaxiális lerakódásához vagy ionimplantációjához.
4. Vissza-vége-a-sor (BEOL) feldolgozása
Támogatja az ostyákat a -maratás utáni vagy-leválasztás utáni tisztítás során, hogy eltávolítsa a fotorezisztet, a maratási melléktermékeket és a fémes szennyeződéseket az összekapcsolás kialakulása után.
5. Speciális csomagolás
Megkönnyíti a szelet{0}}szintű tisztítást a kockázás vagy ragasztás előtt 2,5D/3D IC-csomagolásban, biztosítva a szennyeződéstől mentes-interfészeket a megbízható összekapcsoláshoz.
6. Fotovoltaikus gyártás
Napelemgyártásban használják szilícium hordozók tisztítására, javítva a felület minőségét a jobb fényelnyelés és az energiaátalakítás hatékonysága érdekében.
Tulajdonságok
|
Fizikai tulajdonságok |
Értékek |
|
Tisztaság |
＞99.99% |
|
Sűrűség |
2,2g/cm3 |
|
Átláthatóság |
＞90% |
|
Mohs-keménység |
5.5--6.5 |
|
Deformációs pont |
1280 fok |
|
Lágyulási pont |
1750 fok |
|
Lágyítási pont |
1250 fok |
|
Fajlagos hő (20 - 350 fok) |
670J/kg. fokozat |
|
Hővezetőképesség (20 fok) |
1,4 W/m. fokozat |
|
Hővezetőképesség (w/mk, 1000 fok) |
1.0-1.2 |
|
Törésmutató |
1.4585 |
|
Hőtágulási együttható |
5.510 -7cm/cm. fokozat |
|
Forró - üzemi hőmérséklet |
1750-2050 fok |
|
Rövid - idejű szolgáltatási hőmérséklet |
1450 fok |
|
Hosszú távú - szolgáltatási hőmérséklet |
1100 fok |
|
Kémiai tulajdonságok |
Értékek |
|
Saválló |
Erős sav (kivéve HF), Erős lúg, szerves oldat |
|
Magas hőmérséklet Korrózióálló |
Kiváló |
|
Fémszennyeződés-tartalom |
＜5 ppm |
|
Elektromos tulajdonságok |
Értékek |
|
Ellenállás |
7107Ω.cm |
|
Szigetelés erőssége |
250-400Kv/cm |
|
Dielektromos állandó |
3.7~3.9 |
|
Dielektromos abszorpciós együttható |
＜410-4 |
|
Dielektromos veszteségi együttható |
＜110-4 |
|
Mechanikai Tulajdonságok |
Értékek |
|
Nyomószilárdság |
1100 MPa |
|
Hajlítóerő |
67 MPa |
|
Szakítószilárdság |
48 MPa |
|
Poisson-arány |
0.14~0.17 |
|
Young modulja |
72000 MPa |
|
Nyírási modulus |
31000 MPa |
Tisztítási módszerek
Merítési tisztítás:
Helyezze az ostyát a tisztító csónakba, majd merítse a tisztító csónakot a tisztítófolyadékba, és növelje az érintkezést a tisztítófolyadék és az ostya felülete között az ostyahajó felemelésével, hogy javítsa a tisztító hatást.
Spray tisztítás:
Állítsa a tisztítócsónakot függőlegesen a permetezőkamrába, és a fúvókával permetezze a tisztítófolyadékot az ostya felületére a szennyeződések eltávolítása érdekében.
A csónakok tisztításának jelentősége:
- Biztosítsa az ostya tisztaságát: A tiszta ostyafelület kulcsfontosságú a félvezető chipek gyártási minősége szempontjából, és a tisztítóhajó létfontosságú szerepet játszik a tisztítási folyamatban.
- Biztosítsa a félvezető chipek megbízhatóságát: Biztosítsa a chipek megbízhatóságát és csökkentse a termékhibákat a felületi szennyeződések eltávolításával.
- A félvezető chipek hozamának javítása: Javítsa a lapkák tisztaságát, ezáltal javítva a félvezető chipek hozamát.
Népszerű tags: kvarc ostya tisztító csónak, kínai kvarc ostya tisztító hajó gyártók, beszállítók, gyár
A szálláslekérdezés elküldése
Akár ez is tetszhet
